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紫外二向色镜

一、紫外二向色镜优点:

1. 平行度可达到10”以内,装配精度高,可保证使用过程中衰减最小;

2. 超光滑表面,高激光阈值;

3. 高面型精度,成像质量良好,光效率达到最高性价比;

4. 反射率可达到95%以上。


二、主要技术参数



三、紫外二向色镜特性

紫外二向色镜是DI曝光系统中DMD位置的重要组成元件,

可有效过滤掉蓝光、绿光、红光。

光路图如下:




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