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电子元器件&半导体芯片用UVLED 光源(4寸/6寸/8寸/12寸UVLED光源)

一、电子元器件/半导体芯片光源特点:

  *波长365nm/385nm/395nm/405nm。

  *光源平行半角1.5°~3°可选,光偏角<0.5°,可满足高解析度曝光需求;

  *光源面积:4寸/6寸/8寸/12寸

二、产品主要技术参数:


1.5°~3°可选
序号指标参数目前水平
1光源波段365/385/395/405nm (可选单波,混波)
2产品用途电子元器件,半导体芯片等
3平行半角0.5°~3°(可选)
4光照面积100*100mm~300mm*300mm
5不均匀性<4%


三、光源使用方向

    现广泛应用于晶体管、二极管、电阻、电容、电感、可控硅、肖特基等器件生产的核心曝光工艺环节。



                      

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