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大视场步进式投影式光刻
大视场步进式投影式光刻
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步进式投影式光刻
步进式投影式光刻
技术规格
参数
规格
波长
405nm
倍率
1X
焦深
±100um
解析
15um
曝光视场
215x110mm
出光效率
>70%
不均匀性
<4%
外形尺寸
805x460x1787mm(长x宽x高)
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